أخبار الشركة عن يُعزز يوروثيرم كفاءة أفران أشباه الموصلات بتقنية دقيقة

تحدد دقة تصنيع أشباه الموصلات مباشرة سقف أداء المنتجات النهائية.عملية الانتشار تلعب دورا محوريا في تحديد الخصائص الكهربائية للشريحةحتى الاختلافات الدقيقة في درجة الحرارة أثناء الانتشار يمكن أن تسبب تعاطي رقائق غير متساو، مما قد يؤدي إلى تعريض حصيلة مجموعة الإنتاج بأكملها للخطر أو تسبب فشل المنتج.هذه الانحرافات لا تتسبب فقط في خسائر مالية كبيرة ولكن أيضا تؤثر على موثوقية المنتج وتنافسية السوق.

الدور الحاسم لفرن الانبعاث

أفران الانبثاق بمثابة معدات أساسية في إنتاج أشباه الموصلاتمسؤولة في المقام الأول عن إدخال شوائب محددة (مثل البور أو الفوسفور) في رقائق السيليكون عالية النقاء لتعديل خصائصها الكهربائيةهذه العملية عالية درجة الحرارة تتطلب توحيد حراري استثنائي واستقرار طوال التشغيل.

تتميز أفران الانتشار الحديثة عادةً بتصاميم أنبوبية مع مناطق تسخين متعددة (عادة ثلاثة) ، تتطلب كل منها تنظيم درجة حرارة مستقل.يجب أن تحافظ الأنظمة أيضا على تحكم دقيق في تدفق الغاز وتعمل في بعض الأحيان في ظل ظروف فراغغالبا ما تتراكم المنشآت الصناعية أفران متعددة عمودياً، حيث تتطلب كل وحدة إدارة درجة حرارة مخصصة.

حل التحكم الدقيق لشركة يوروتيرم

• تنظيم درجة الحرارة متعددة الحلقات:يتحكم في وقت واحد في ثلاث مناطق حرارية مستقلة (مناطق الفرن الوسط والخارجية) مع إعدادات المعلمات الفردية لتحسين توحيد درجة الحرارة.التحكم الاختياري بالسلسلة يزيد من الدقة.
• مدخلات الحرارة ذات الدقة العالية:يكتشف تقلبات درجة الحرارة الدقيقة للتعديلات في الوقت الحقيقي، مما يضمن دقة القياس.
• واجهة برمجة بديهية:تبسيط تكوين ملف درجة الحرارة وتعديلات العملية، وتبسيط العمليات.
• تحكم غاز متكامل:تمتلك واجهات لتنظيم تدفق الغاز بدقة خلال عمليات الانتشار المتخصصة.
• الاتصال الرقمي:يدعم بروتوكولات اتصال متعددة للمراقبة عن بعد واكتساب البيانات، مما يسهل إدارة الإنتاج وتحسين العمليات.

التنفيذ التقني

في التطبيقات القياسية، يستخدم نظام Eurotherm بنية تحكم من ثلاث حلقات: الحلقة 1 تحكم منطقة التدفئة المركزية بينما الحلقات 2-3 تدير المناطق الطرفية،جميعها مدفوعة بإشارات 4-20mA لتنظيم طاقة إخراج التايريستوربينما تتشارك نقاط إعداد البرنامج الأساسية، تسمح كل حلقة بتعديلات صغيرة لتحقيق توحيد حراري مثالي.

للتطبيقات التي تتطلب دقة فائقة ، يتضمن تكوين سلسلة ثلاثية الحلقات وحدات إدخال مشابهة إضافية ومكيفات إشارة.هذا الإعداد الموسع يتيح ستة مدخلات التناظرية - ثلاثة للحرارة عالية الدقة وثلاثة للمخرجات التناظرية.

الفوائد التشغيلية

• معدلات العائد المحسنة:يضمن التحكم الحراري الدقيق توزيع المنشطات بشكل موحد ، مما يقلل من الوحدات المعيبة ويحسن من كفاءة الإنتاج.
• تحسين التكاليف:إدارة درجة الحرارة الفعالة تقصر مدة العملية، وتقلل من استهلاك الطاقة، وتطيل فترات الصيانة.
• تحسين الأداء:الدوبينج المستمر يزيد من الخصائص الكهربائية للشريحة بما في ذلك سرعة التبديل وكفاءة الطاقة.
• تحسين العملية:يسمح جمع البيانات بتحسين العملية بشكل مستمر من خلال تعديلات ملف درجة الحرارة وتعديلات تدفق الغاز.
• كفاءة الإنتاج:العملية المستقرة تقلل من انقطاع العمليات في حين أن قدرات المراقبة عن بعد تقلل من وقت التوقف.

التحقق من صحة الصناعة

أبلغ أحد الشركات المصنعة للشرائح نصف الموصلة التي تنفذ نظام Eurotherm عن تحسن في الإنتاج بنسبة 15٪ ، وانخفاض في تكاليف الإنتاج بنسبة 10٪ ، وتوسيع دورات الصيانة بنسبة 20٪.تحسينات العمليات اللاحقة باستخدام البيانات التي تم جمعها لزيادة كفاءة التشغيل.

مع تقدم تكنولوجيا أشباه الموصلات ، ستستمر متطلبات عملية الانتشار في الارتفاع.ستظل أنظمة التحكم بدقة في درجة الحرارة مثل حل يوروتيرم حاسمة للحفاظ على جودة التصنيع والقدرة التنافسية في هذه الصناعة المتطلبة.