Độ chính xác của sản xuất chất bán dẫn quyết định trực tiếp đến hiệu suất tối đa của các sản phẩm cuối cùng. Trong số các giai đoạn chế tạo quan trọng, quá trình khuếch tán đóng một vai trò then chốt trong việc xác định các đặc tính điện của chip. Ngay cả những biến đổi nhiệt độ nhỏ trong quá trình khuếch tán cũng có thể gây ra sự pha tạp không đồng đều của wafer, có khả năng làm giảm năng suất của toàn bộ lô sản xuất hoặc gây ra lỗi sản phẩm. Những sai lệch như vậy không chỉ gây ra những tổn thất tài chính đáng kể mà còn ảnh hưởng đến độ tin cậy của sản phẩm và khả năng cạnh tranh trên thị trường.
Vai Trò Quan Trọng của Lò Khuếch Tán
Lò khuếch tán đóng vai trò là thiết bị thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn, chủ yếu chịu trách nhiệm đưa các tạp chất cụ thể (chẳng hạn như boron hoặc phốt pho) vào các wafer silicon có độ tinh khiết cao để sửa đổi các đặc tính điện của chúng. Quá trình nhiệt độ cao này đòi hỏi sự đồng nhất và ổn định nhiệt đặc biệt trong suốt quá trình vận hành.
Lò khuếch tán hiện đại thường có thiết kế hình ống với nhiều vùng gia nhiệt (thường là ba), mỗi vùng yêu cầu điều chỉnh nhiệt độ độc lập. Các hệ thống cũng phải duy trì kiểm soát dòng khí chính xác và đôi khi hoạt động trong điều kiện chân không. Các cài đặt công nghiệp thường xếp chồng nhiều lò theo chiều dọc, với mỗi đơn vị yêu cầu quản lý nhiệt độ chuyên dụng.
Giải Pháp Điều Khiển Chính Xác của Eurotherm
Triển Khai Kỹ Thuật
Trong các ứng dụng tiêu chuẩn, hệ thống Eurotherm sử dụng kiến trúc điều khiển ba vòng. Vòng 1 điều khiển vùng gia nhiệt trung tâm trong khi Vòng 2-3 quản lý các vùng ngoại vi, tất cả đều được điều khiển bởi tín hiệu 4-20mA để điều chỉnh công suất thyristor. Mặc dù chia sẻ các điểm đặt chương trình cơ bản, mỗi vòng cho phép các điều chỉnh vi mô để đạt được sự đồng nhất nhiệt tối ưu.
Đối với các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao, cấu hình thác ba vòng kết hợp các mô-đun đầu vào tương tự bổ sung và bộ điều hòa tín hiệu. Thiết lập mở rộng này cho phép sáu đầu vào tương tự - ba cho cặp nhiệt điện có độ chính xác cao và ba cho đầu ra tương tự.
Lợi Ích Vận Hành
Xác Nhận Ngành
Một nhà sản xuất chất bán dẫn triển khai hệ thống Eurotherm đã báo cáo cải thiện năng suất 15%, giảm 10% chi phí sản xuất và kéo dài chu kỳ bảo trì 20%. Các tối ưu hóa quy trình tiếp theo bằng cách sử dụng dữ liệu thu thập được đã tăng cường hơn nữa hiệu quả hoạt động.
Khi công nghệ bán dẫn phát triển, các yêu cầu về quy trình khuếch tán sẽ tiếp tục tăng lên. Các hệ thống điều khiển nhiệt độ chính xác như giải pháp của Eurotherm sẽ vẫn rất quan trọng để duy trì chất lượng sản xuất và khả năng cạnh tranh trong ngành công nghiệp đòi hỏi này.
Người liên hệ: Mr. zang
Tel: 18010872860
Fax: 86-0551-62576378
Vietnamese
