اخبار شرکت یوروترم با فناوری دقیق، راندمان کوره های نیمه هادی را افزایش می دهد.

دقت تولید نیمه هادی به طور مستقیم سقف عملکرد محصولات نهایی را تعیین می کند.فرآیند پخش نقش محوری در تعریف ویژگی های الکتریکی تراشه ای داردحتی تغییرات دمایی کوچک در طول پخش می تواند باعث عدم یکسانی دوپینگ وافره شود، که به طور بالقوه از بهره وری کل دسته تولید یا ایجاد خرابی محصول جلوگیری می کند.چنین انحرافاتی نه تنها خسارت های مالی قابل توجهی را متحمل می شوند بلکه بر قابلیت اطمینان محصول و رقابت در بازار نیز تاثیر می گذارند..

نقش حیاتی کوره های پخش

کوره های پخش کننده به عنوان تجهیزات ضروری در تولید نیمه هادی استفاده می شوند.به طور عمده مسئول وارد کردن ناخالصی های خاص (مانند بور یا فسفر) به وافرهای سیلیکونی با طهارت بالا برای تغییر خواص الکتریکی آنها هستند.این فرآیند با دمای بالا مستلزم یکسانی و ثبات حرارتی استثنایی در طول کار است.

کوره های پخش مدرن به طور معمول دارای طرح های لوله ای با چندین منطقه گرمایش (معمولاً سه) هستند که هر کدام نیاز به تنظیم مستقل دمای دارند.سیستم ها همچنین باید کنترل دقیق جریان گاز را حفظ کنند و گاهی اوقات در شرایط خلاء کار می کنند- تاسیسات صنعتی اغلب کوره های متعدد را عمودی قرار می دهند و هر واحد نیاز به مدیریت دمایی اختصاصی دارد.

راه حل کنترل دقیق یوروترم

• تنظیم درجه حرارت چند حلقه ای:به طور همزمان کنترل سه منطقه حرارتی مستقل (مناطق مرکزی و بیرونی کوره) با تنظیمات پارامتر فردی برای بهینه سازی یکسانی دمای.کنترل cascade اختیاری دقت را بیشتر افزایش می دهد.
• ورودی های ترموکوپل با وضوح بالا:تشخیص نوسانات دمای دقیق برای تنظیم در زمان واقعی، اطمینان از دقت اندازه گیری.
• رابط برنامه نویسی بصری:تثبیت مشخصات دمای و تنظیمات فرآیند را ساده می کند و عملیات را ساده می کند.
• کنترل گازی یکپارچه:ویژگی های رابط برای تنظیم دقیق جریان گاز در طول فرآیندهای پخش تخصصی.
• اتصال دیجیتال:پشتیبانی از پروتکل های ارتباطی متعدد برای نظارت از راه دور و جمع آوری داده ها، تسهیل مدیریت تولید و بهینه سازی فرآیند.

اجرای فنی

در کاربردهای استاندارد، سیستم یوروترم از یک معماری کنترل سه حلقه استفاده می کند. حلقه 1 منطقه گرمایش مرکزی را اداره می کند در حالی که حلقه های 2-3 مناطق محیطی را مدیریت می کنند.همه توسط سیگنال های 4-20mA برای تنظیم خروجی قدرت تایریستور هدایت می شونددر حالی که نقاط تنظیم برنامه پایه را به اشتراک می گذارند، هر حلقه اجازه می دهد تا تنظیمات کوچک برای دستیابی به یکسانی حرارتی بهینه انجام شود.

برای کاربردهایی که نیاز به دقت شدید دارند، پیکربندی سه حلقه ای شامل ماژول های ورودی آنالوگ اضافی و تنظیم کننده های سیگنال است.این تنظیمات گسترش یافته اجازه می دهد تا شش ورودی آنالوگ - سه برای ترموپول های با دقت بالا و سه برای خروجی آنالوگ.

مزایای عملیاتی

• نرخ بهره افزوده:کنترل حرارتی دقیق توزیع یکنواخت دوپینگ را تضمین می کند، واحدهای معیوب را کاهش می دهد و کارایی تولید را بهبود می بخشد.
• بهینه سازی هزینه:مدیریت درجه حرارت کارآمد مدت زمان فرآیند را کوتاه می کند، مصرف انرژی را کاهش می دهد و فواصل نگهداری را افزایش می دهد.
• بهبود عملکرد:دوپینگ مداوم ویژگی های الکتریکی تراشه را از جمله سرعت سوئیچ و بهره وری انرژی افزایش می دهد.
• اصلاح فرآیند:جمع آوری داده ها امکان بهینه سازی مداوم فرآیند را از طریق تنظیم مشخصات دمای و اصلاح جریان گاز فراهم می کند.
• بهره وری تولید:عملکرد پایدار وقفه های فرآیند را به حداقل می رساند در حالی که قابلیت های نظارت از راه دور زمان خرابی را کاهش می دهد.

اعتباربخشی در صنعت

یک تولید کننده نیمه هادی که سیستم Eurotherm را اجرا می کند، گزارش کرد که 15٪ بهره را بهبود می بخشد، 10٪ کاهش هزینه تولید و 20٪ چرخه های نگهداری را افزایش می دهد.بهینه سازی فرآیند های بعدی با استفاده از داده های جمع آوری شده افزایش بیشتر بهره وری عملیاتی.

با پیشرفت فناوری نیمه هادی، الزامات فرآیند پخش همچنان افزایش خواهد یافت.سیستم های کنترل دمای دقیق مانند راه حل یوروترم برای حفظ کیفیت تولید و رقابت در این صنعت سخت باقی خواهد ماند.