कंपनी की खबर यूरोथर्म सटीक तकनीक के साथ सेमीकंडक्टर फर्नेस दक्षता बढ़ाता है

सेमीकंडक्टर निर्माण की सटीकता सीधे अंतिम उत्पादों के प्रदर्शन की सीमा निर्धारित करती है। महत्वपूर्ण निर्माण चरणों में, प्रसार प्रक्रिया चिप की विद्युत विशेषताओं को परिभाषित करने में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। प्रसार के दौरान यहां तक ​​कि मिनट तापमान भिन्नताएं भी असमान वेफर डोपिंग का कारण बन सकती हैं, जिससे संभावित रूप से पूरे उत्पादन बैच की उपज से समझौता हो सकता है या उत्पाद विफल हो सकते हैं। इस तरह के विचलन न केवल महत्वपूर्ण वित्तीय नुकसान करते हैं बल्कि उत्पाद की विश्वसनीयता और बाजार प्रतिस्पर्धा को भी प्रभावित करते हैं।

प्रसार भट्टियों की महत्वपूर्ण भूमिका

प्रसार भट्टियां सेमीकंडक्टर उत्पादन में आवश्यक उपकरण के रूप में काम करती हैं, जो मुख्य रूप से उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन वेफर्स में विशिष्ट अशुद्धियों (जैसे बोरॉन या फास्फोरस) को पेश करने के लिए जिम्मेदार होती हैं ताकि उनकी विद्युत गुणों को संशोधित किया जा सके। इस उच्च तापमान प्रक्रिया के लिए पूरे संचालन में असाधारण तापीय एकरूपता और स्थिरता की आवश्यकता होती है।

आधुनिक प्रसार भट्टियां आमतौर पर कई हीटिंग ज़ोन (आमतौर पर तीन) के साथ ट्यूबलर डिज़ाइन की सुविधा देती हैं, जिनमें से प्रत्येक को स्वतंत्र तापमान विनियमन की आवश्यकता होती है। सिस्टम को सटीक गैस प्रवाह नियंत्रण भी बनाए रखना चाहिए और कभी-कभी वैक्यूम स्थितियों के तहत संचालित होना चाहिए। औद्योगिक प्रतिष्ठानों में अक्सर कई भट्टियों को लंबवत रूप से ढेर किया जाता है, जिसमें प्रत्येक इकाई को समर्पित तापमान प्रबंधन की आवश्यकता होती है।

यूरोथर्म का सटीक नियंत्रण समाधान

• मल्टी-लूप तापमान विनियमन:तापमान एकरूपता को अनुकूलित करने के लिए व्यक्तिगत पैरामीटर सेटिंग्स के साथ तीन स्वतंत्र थर्मल ज़ोन (मध्य और बाहरी भट्टी क्षेत्र) को एक साथ नियंत्रित करता है। वैकल्पिक कैस्केड नियंत्रण सटीकता को और बढ़ाता है।
• उच्च-रिज़ॉल्यूशन थर्मोकपल इनपुट:वास्तविक समय समायोजन के लिए मिनट तापमान में उतार-चढ़ाव का पता लगाता है, माप सटीकता सुनिश्चित करता है।
• सहज प्रोग्रामिंग इंटरफ़ेस:तापमान प्रोफ़ाइल कॉन्फ़िगरेशन और प्रक्रिया समायोजन को सरल बनाता है, संचालन को सुव्यवस्थित करता है।
• एकीकृत गैस नियंत्रण:विशिष्ट प्रसार प्रक्रियाओं के दौरान सटीक गैस प्रवाह विनियमन के लिए इंटरफेस की सुविधाएँ।
• डिजिटल कनेक्टिविटी:उत्पादन प्रबंधन और प्रक्रिया अनुकूलन की सुविधा के लिए, रिमोट मॉनिटरिंग और डेटा अधिग्रहण के लिए कई संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करता है।

तकनीकी कार्यान्वयन

मानक अनुप्रयोगों में, यूरोथर्म सिस्टम एक तीन-लूप नियंत्रण वास्तुकला का उपयोग करता है। लूप 1 केंद्रीय हीटिंग ज़ोन को नियंत्रित करता है जबकि लूप 2-3 परिधीय क्षेत्रों का प्रबंधन करते हैं, सभी थाइरिस्टर पावर आउटपुट को विनियमित करने के लिए 4-20mA सिग्नल द्वारा संचालित होते हैं। बेसलाइन प्रोग्राम सेटपॉइंट साझा करते समय, प्रत्येक लूप इष्टतम तापीय एकरूपता प्राप्त करने के लिए सूक्ष्म समायोजन की अनुमति देता है।

अत्यधिक सटीकता की मांग वाले अनुप्रयोगों के लिए, एक तीन-लूप कैस्केड कॉन्फ़िगरेशन अतिरिक्त एनालॉग इनपुट मॉड्यूल और सिग्नल कंडीशनर को शामिल करता है। यह विस्तारित सेटअप छह एनालॉग इनपुट को सक्षम करता है - तीन उच्च-सटीक थर्मोकपल के लिए और तीन एनालॉग आउटपुट के लिए।

परिचालन लाभ

• बढ़ी हुई उपज दरें:सटीक तापीय नियंत्रण समान डोपिंग वितरण सुनिश्चित करता है, दोषपूर्ण इकाइयों को कम करता है और उत्पादन दक्षता में सुधार करता है।
• लागत अनुकूलन:कुशल तापमान प्रबंधन प्रक्रिया की अवधि को छोटा करता है, ऊर्जा की खपत को कम करता है, और रखरखाव अंतराल का विस्तार करता है।
• प्रदर्शन सुधार:संगत डोपिंग चिप विद्युत विशेषताओं में सुधार करता है जिसमें स्विचिंग गति और बिजली दक्षता शामिल है।
• प्रक्रिया शोधन:डेटा संग्रह तापमान प्रोफ़ाइल समायोजन और गैस प्रवाह संशोधनों के माध्यम से निरंतर प्रक्रिया अनुकूलन को सक्षम बनाता है।
• उत्पादन दक्षता:स्थिर संचालन प्रक्रिया में रुकावटों को कम करता है जबकि रिमोट मॉनिटरिंग क्षमताएं डाउनटाइम को कम करती हैं।

उद्योग सत्यापन

यूरोथर्म सिस्टम को लागू करने वाले एक सेमीकंडक्टर निर्माता ने 15% उपज सुधार, 10% उत्पादन लागत में कमी और 20% विस्तारित रखरखाव चक्र की सूचना दी। एकत्र किए गए डेटा का उपयोग करके बाद की प्रक्रिया अनुकूलन ने परिचालन दक्षता को और बढ़ाया।

जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर तकनीक आगे बढ़ती है, प्रसार प्रक्रिया की आवश्यकताएं बढ़ती रहेंगी। यूरोथर्म के समाधान जैसे सटीक तापमान नियंत्रण सिस्टम इस मांग वाले उद्योग में विनिर्माण गुणवत्ता और प्रतिस्पर्धात्मकता बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण बने रहेंगे।