hakkında şirket haberleri Eurotherm, Hassas Teknoloji ile Yarı İletken Fırın Verimliliğini Artırıyor

Yarım iletken üretiminin hassasiyeti, nihai ürünlerin performans tavanını doğrudan belirler.Difüzyon süreci, çipin elektrik özelliklerini belirlemede çok önemli bir rol oynar.Difüzyon sırasında küçük sıcaklık değişiklikleri bile, tüm bir üretim partisinin verimini tehlikeye atarak veya ürün arızalarına neden olabilecek eşit olmayan vafeler dopingine neden olabilir.Bu tür sapmalar sadece önemli finansal kayıplara neden olmakla kalmaz aynı zamanda ürün güvenilirliği ve piyasa rekabet gücünü de etkiler..

Diffüzyon Fırınlarının Önemli Rolü

Difüzyon fırınları yarı iletken üretiminde temel ekipman olarak hizmet verir.Yüksek saflıklı silikon levhalara elektrik özelliklerini değiştirmek için belirli kirliliklerin (bor veya fosfor gibi) dahil edilmesinden öncelikle sorumludurBu yüksek sıcaklıklı işlem, operasyon boyunca olağanüstü bir termal tekdüzelik ve istikrar gerektirir.

Modern difüzyon fırınları tipik olarak, her biri bağımsız sıcaklık düzenlemesi gerektiren birden fazla ısıtma bölgesi (genellikle üç) ile tüpsel tasarımlara sahiptir.Sistemler ayrıca gaz akışının kesin kontrolünü sürdürmeli ve bazen vakum koşullarında çalışmalıdır.Endüstriyel kurulumlar genellikle birden fazla fırını dikey olarak birleştirir ve her birim özel bir sıcaklık yönetimi gerektirir.

Eurotherm'in hassas kontrol çözümü

• Çoklu döngü sıcaklık düzenlemesi:Aynı anda üç bağımsız termal bölgeyi (ortalık ve dış fırın bölgeleri) sıcaklık tekdüzeliğini optimize etmek için bireysel parametreler ayarlarıyla kontrol eder.İsteğe bağlı kaskad kontrolü hassasiyeti daha da artırır.
• Yüksek çözünürlüklü termokopül girişleri:Gerçek zamanlı ayarlamalar için sıcaklık dalgalanmalarını tespit eder ve ölçüm doğruluğunu sağlar.
• İçgörülü programlama arayüzü:Sıcaklık profil konfigürasyonunu ve işlem ayarlarını basitleştirir, operasyonları kolaylaştırır.
• Entegre gaz kontrolü:Özel difüzyon süreçleri sırasında gaz akışının hassas düzenlenmesi için arabirimleri içerir.
• Dijital bağlantı:Uzaktan izleme ve veri alımı için birden fazla iletişim protokolünü destekler, üretim yönetimini ve süreç optimizasyonunu kolaylaştırır.

Teknik Uygulama

Standart uygulamalarda Eurotherm sistemi üç döngüden oluşan bir kontrol mimarisi kullanır.tümü 4-20mA sinyalleriyle tahrik edilir, bu da tiristor güç çıkışını düzenlerTemel program ayar noktalarını paylaşırken, her döngü optimal termal tekdüzelik elde etmek için mikro ayarlara izin verir.

Aşırı hassasiyeti gerektiren uygulamalar için, üç döngülü bir kaskad konfigürasyonu ek analog giriş modülleri ve sinyal koşullayıcıları içerir.Bu genişletilmiş yapılandırma, altı analog girişi sağlar - üçü yüksek hassasiyetli termokopüler için ve üçü de analog çıkışlar için.

Operasyonel Faydalar

• Gelişmiş verim oranları:Kesin bir termal kontrol doping dağılımını sağlar, arızalı birimleri azaltır ve üretim verimliliğini artırır.
• Maliyet optimizasyonu:Etkili bir sıcaklık yönetimi işlem sürelerini kısaltır, enerji tüketimini azaltır ve bakım aralıklarını uzatır.
• Performans iyileştirme:Sürekli doping, anahtarlama hızı ve güç verimliliği de dahil olmak üzere çipin elektrik özelliklerini arttırır.
• Süreç iyileştirme:Veri toplama, sıcaklık profili ayarlamaları ve gaz akışı modifikasyonları yoluyla sürekli süreç optimizasyonuna olanak sağlar.
• Üretim verimi:Istikrarlı çalışma, süreç kesintilerini en aza indirirken, uzaktan izleme yetenekleri arıza süresini azaltır.

Endüstri Doğrulama

Eurotherm sistemini uygulayan bir yarı iletken üreticisi, verimliliğin % 15 oranında iyileştiğini, üretim maliyetlerinin % 10 oranında azalttığını ve bakım döngülerinin % 20 oranında uzatıldığını bildirdi.Toplanan verileri kullanarak daha sonraki süreç optimizasyonları operasyonel verimliliği daha da artırır.

Yarım iletken teknolojisi ilerledikçe, difüzyon süreci gereksinimleri artmaya devam edecek.Eurotherm'in çözümü gibi hassas sıcaklık kontrol sistemleri, bu zorlu sektörde üretim kalitesini ve rekabet gücünü korumak için çok önemli olmaya devam edecek..