ব্লগ সম্বন্ধে জেটিইকেটি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য উন্নত উল্লম্ব ফার্নেস চালু করেছে

অতীব সূক্ষ্ম-মাপের উত্পাদন জগতে, অর্ধপরিবাহী ডিভাইস তৈরি করার জন্য কঠোর তাপীয় প্রক্রিয়াকরণের একটি সিরিজের প্রয়োজন। উল্লম্ব ফার্নেস, যা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে মূল সরঞ্জাম হিসাবে কাজ করে, পাতলা ফিল্ম জমা, অ্যানিলিং এবং রেজিন কিউরিং-এর মতো গুরুত্বপূর্ণ পর্যায়ে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। তাদের স্বতন্ত্র উল্লম্ব স্থাপত্য এবং উন্নত প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ ক্ষমতা সহ, এই সিস্টেমগুলি আধুনিক অর্ধপরিবাহী উত্পাদন লাইনে অপরিহার্য উপাদান হয়ে উঠেছে।

একটি উল্লম্ব ফার্নেস হল সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির জন্য ডিজাইন করা একটি ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেম, যা উল্লম্বভাবে সারিবদ্ধ কোয়ার্টজ টিউব দ্বারা চিহ্নিত করা হয়। ওয়েফারগুলি কোয়ার্টজ টিউবের পরিধিতে স্থাপন করা হয় এবং বিভিন্ন উত্পাদন পদক্ষেপগুলি সম্পন্ন করার জন্য সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রিত গরম করার প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায়। ওয়েফারগুলি কোয়ার্টজ বোটে লোড করা হয়, যা প্রক্রিয়াকরণ টিউবের নীচে থেকে প্রবেশ করানো এবং সরানো হয়।

এই নকশা কণা উত্পাদনকে হ্রাস করে এবং ব্যতিক্রমী তাপমাত্রা অভিন্নতা এবং বায়ুমণ্ডলীয় নিয়ন্ত্রণ সরবরাহ করে, যা ধারাবাহিক ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ গুণমান এবং দক্ষতা নিশ্চিত করে। স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার এবং বোট হ্যান্ডলিং সিস্টেমগুলি আরও উত্পাদন থ্রুপুট বাড়ায়।

ঐতিহ্যবাহী অনুভূমিক ফার্নেসগুলি বৃহত্তর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময় সীমাবদ্ধতা দেখায়, যা প্রায়শই ব্যাচ এবং ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে ফিল্মের বেধে অসামঞ্জস্যতা, সেইসাথে কণা দূষণ এবং নেটিভ অক্সাইড গঠনের দিকে পরিচালিত করে। এছাড়াও, ওয়েফারের আকার বাড়ার সাথে সাথে তাদের স্থান উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি পায়। উল্লম্ব ফার্নেসগুলি কার্যকরভাবে এই চ্যালেঞ্জগুলি মোকাবেলা করে, যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে তাদের ব্যাপক গ্রহণকে আরও বাড়িয়ে তোলে।

উন্নত তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেমের বিকাশ ১৯৭০ সালে ফিরে যায় যখন Tempress Japan প্রথম সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম বাজারে অনুভূমিক তাপ চিকিত্সা সিস্টেম চালু করে। অবিরাম উদ্ভাবন তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তির একটি বিস্তৃত পোর্টফোলিও তৈরি করেছে যা বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর অগ্রগতিতে উল্লেখযোগ্যভাবে অবদান রেখেছে।

• VF-5900 300mm উচ্চ-ভলিউম উল্লম্ব ফার্নেস: উচ্চ থ্রুপুট এবং অভিন্নতা সহ 300 মিমি ওয়েফার গণ উৎপাদনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। ১৬টি FOUP স্টোরেজ পজিশন সহ প্রতি ব্যাচে ১০০টি ওয়েফার প্রক্রিয়া করতে সক্ষম, যা অটোমেশন এবং উত্পাদনশীলতা বাড়ায়। অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে রয়েছে সেমিকন্ডাক্টর, SiC পাওয়ার ডিভাইস, MEMS, VCSEL, এবং ফটোভোলটাইক প্রযুক্তি।
• VF-5700 300mm ছোট-ব্যাচ উল্লম্ব ফার্নেস: 300 মিমি ওয়েফার R&D এবং বিশেষায়িত প্রক্রিয়াকরণের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে, যা প্রতি ব্যাচে ৫০টি ওয়েফার পরিচালনা করে।
• VF-5300 8-ইঞ্চি উচ্চ-ভলিউম উল্লম্ব ফার্নেস: ৬-ইঞ্চি থেকে ৮-ইঞ্চি ওয়েফার উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত, যা প্রতি ব্যাচে ১৫০টি ওয়েফার প্রক্রিয়া করে এবং ২০টি ক্যাসেট স্টোরেজ পজিশন রয়েছে।
• VF-5100 8-ইঞ্চি মাল্টি-পারপাস উল্লম্ব ফার্নেস: ৪-ইঞ্চি থেকে ৮-ইঞ্চি ওয়েফারের জন্য নমনীয় কনফিগারেশন, যার সর্বোচ্চ ক্ষমতা ১৫০টি ওয়েফার এবং ৪-৮টি ক্যাসেট স্টোরেজ পজিশন রয়েছে।
• VF-3000 8-ইঞ্চি সাশ্রয়ী ছোট-ব্যাচ সিস্টেম: ৪-ইঞ্চি থেকে ৮-ইঞ্চি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য কমপ্যাক্ট ডিজাইন, যা ৪-৮টি ক্যাসেট স্টোরেজ সহ সর্বোচ্চ ৫০টি ওয়েফার (৮-ইঞ্চি) বা ৭৫টি ওয়েফার (৪-৬ ইঞ্চি) পরিচালনা করে।
• VF-1000 কমপ্যাক্ট R&D উল্লম্ব ফার্নেস: ছোট আকারের উত্পাদন এবং গবেষণা অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য, সর্বোচ্চ ২৫টি ওয়েফার (সর্বোচ্চ ৮-ইঞ্চি) প্রক্রিয়া করে।
• VFS-4000 বৃহৎ-ব্যাসার্ধের উল্লম্ব ফার্নেস: বিশেষায়িত অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য প্রসারিত প্রক্রিয়া চেম্বার, যা ২০-২৫টি ওয়েফার পরিচালনা করে, প্রধানত ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে উত্পাদনে ব্যবহৃত হয় যার মধ্যে রয়েছে মেটাল কন্টাক্ট অ্যানিলিং, গ্লাস ফ্রাইটের সিন্টারিং এবং ডিহাইড্রোজেনেশন।

• বিকল্প গ্যাস ক্যাবিনেট বসানো সহ নমনীয় সরঞ্জাম কনফিগারেশন
• বায়ুমণ্ডলীয় তরল উৎস প্রক্রিয়াকরণের জন্য সমর্থন
• সেলেনাইজেশন/সালফরাইজেশন প্রক্রিয়া ক্ষমতা
• বৃহৎ-ব্যাসার্ধের ভ্যাকুয়াম প্রক্রিয়াকরণ (G4+)
• কার্বন ন্যানোটিউব বৃদ্ধির সরঞ্জাম
• পাতলা ওয়েফার (≥80μm) হ্যান্ডলিং
• ফ্যান-আউট ওয়েফার সমর্থন
• বৃহৎ FPD পলিমাইড কিউরিং প্যানেল সাবস্ট্রেট
• অক্সিজেন আংশিক চাপ নিয়ন্ত্রণ সহ ভেজা এবং শুকনো ভ্যাকুয়াম প্রক্রিয়াকরণ
• ClF3 ব্যবহার করে ইন-সিটু ক্লিনিং
• কোয়ার্টজ ক্যাসেট ব্যাচ ট্রান্সফার সিস্টেম
• প্ল্যানার পলিসিলিকন প্রক্রিয়াকরণ (তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট-মুক্ত)

উন্নত প্রদর্শনী এবং পরীক্ষার পরীক্ষাগারগুলি প্রক্রিয়া যাচাইকরণ এবং সরঞ্জাম কর্মক্ষমতা মূল্যায়নের সুবিধা দেয়। এই সুবিধাগুলি সঠিকভাবে উত্পাদন পরিবেশকে অনুকরণ করার জন্য ক্লাস ১০ বা তার চেয়ে উন্নত ক্লিনরুমের অবস্থা বজায় রাখে, যা প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন এবং প্যারামিটার পরিমার্জনের অনুমতি দেয়।

উল্লম্ব ফার্নেস প্রযুক্তির ক্রমাগত অগ্রগতি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের নির্ভুল উত্পাদনের প্রতি অঙ্গীকারের প্রমাণ, তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেমগুলি একাধিক প্রযুক্তি খাতে নেক্সট-জেনারেশন ডিভাইস তৈরির ক্ষেত্রে ক্রমবর্ধমান গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।