blog Hakkında JTEKT, Yarı İletken Üretimi İçin Gelişmiş Dikey Fırınları Piyasaya Sürüyor

Mikro ölçekli üretim dünyasında, yarı iletken cihazların oluşturulması bir dizi sıkı termal sürece dayanır. Yarı iletken işleme süreçlerinde temel ekipman olarak hizmet veren dikey fırınlar, ince film biriktirme, tavlama ve reçine kürleme gibi kritik aşamalarda önemli bir rol oynamaktadır. Kendine özgü dikey mimarileri ve üstün proses kontrol yetenekleriyle bu sistemler, modern yarı iletken üretim hatlarının vazgeçilmez bileşenleri haline gelmiştir.

Dikey fırın, yarı iletken cihaz imalatı için tasarlanmış, dikey yönlendirilmiş bir kuvars tüpü ile karakterize edilen bir toplu işleme sistemidir. Gofretler, kuvars tüpün çevresine yerleştirilir ve çeşitli üretim adımlarını tamamlamak için hassas bir şekilde kontrol edilen ısıtma işlemlerinden geçer. Gofretler, proses tüpünün altından takılıp çıkarılan kuvars teknelere yüklenir.

Bu tasarım, partikül oluşumunu en aza indirirken, olağanüstü sıcaklık homojenliği ve atmosfer kontrolü sağlayarak tutarlı gofret işleme kalitesi ve verimliliği sağlar. Otomatik gofret ve tekne taşıma sistemleri, üretim verimini daha da artırır.

Geleneksel yatay fırınlar, daha büyük gofretleri işlerken sınırlamalar sergiler, genellikle partiler ve gofret yüzeyleri arasında tutarsız film kalınlığına, ayrıca partikül kontaminasyonuna ve doğal oksit oluşumuna neden olur. Ek olarak, ayak izleri artan gofret boyutlarıyla önemli ölçüde genişler. Dikey fırınlar bu zorlukları etkili bir şekilde ele alır ve yarı iletken üretiminde yaygın olarak benimsenmelerine katkıda bulunur.

Gelişmiş termal işleme sistemlerinin geliştirilmesi, 1970'lerde Tempress Japan'ın ilk olarak yarı iletken ekipman pazarına yatay ısıtma sistemlerini sunmasıyla başlar. Sürekli yenilik, küresel olarak yarı iletken gelişmelerine önemli ölçüde katkıda bulunan kapsamlı bir termal işleme teknolojileri portföyü sağlamıştır.

• VF-5900 300mm Yüksek Hacimli Dikey Fırın: Yüksek verim ve homojenlik ile 300mm gofret seri üretimi için tasarlanmıştır. Otomasyonu ve üretkenliği artıran 16 FOUP depolama pozisyonu ile parti başına 100 gofret işleyebilir. Uygulamalar, yarı iletkenler, SiC güç cihazları, MEMS, VCSEL ve fotovoltaik teknolojileri kapsamaktadır.
• VF-5700 300mm Küçük Parti Dikey Fırın: 300mm gofret Ar-Ge ve özel işlemler için optimize edilmiş, parti başına 50 gofret işler.
• VF-5300 8 inç Yüksek Hacimli Dikey Fırın: 6 inç ila 8 inç gofret üretimi için uygundur, parti başına 150 gofret işler ve 20 kaset depolama pozisyonuna sahiptir.
• VF-5100 8 inç Çok Amaçlı Dikey Fırın: 4 inç ila 8 inç gofretler için esnek yapılandırma, maksimum 150 gofret ve 4-8 kaset depolama pozisyonu.
• VF-3000 8 inç Uygun Maliyetli Küçük Parti Sistemi: 4 inç ila 8 inç gofret işleme için kompakt tasarım, 4-8 kaset depolama ile 50 gofret (8 inç) veya 75 gofret (4-6 inç) işleyebilir.
• VF-1000 Kompakt Ar-Ge Dikey Fırın: Küçük ölçekli üretim ve araştırma uygulamaları için, 25 gofret (maksimum 8 inç) işler.
• VFS-4000 Büyük Çaplı Dikey Fırın: Metal temas tavlama, cam frit sinterleme ve dehidrojenasyon dahil olmak üzere işlemler için, 20-25 gofret işleyen, özellikle düz panel ekran üretiminde kullanılan özel uygulamalar için genişletilmiş proses odası.

• Alternatif gaz kabini yerleşimi ile esnek ekipman konfigürasyonları
• Atmosferik sıvı kaynak işleme desteği
• Selenizasyon/kükürtleme proses yetenekleri
• Büyük çaplı vakum işleme (G4+)
• Karbon nanotüp büyütme ekipmanı
• İnce gofret (≥80μm) işleme
• Fan-out gofret desteği
• Büyük FPD polimid kürleme paneli alt tabakaları
• Oksijen kısmi basınç kontrolü ile ıslak ve kuru vakum işleme
• ClF3 kullanarak in-situ temizleme
• Kuvars kaset toplu transfer sistemleri
• Planar polisilikon işleme (sıcaklık gradyanı olmadan)

Gelişmiş gösteri ve test laboratuvarları, proses doğrulama ve ekipman performans değerlendirmesini sağlar. Bu tesisler, proses optimizasyonu ve parametre iyileştirmesine olanak tanıyarak, üretim ortamlarını doğru bir şekilde simüle etmek için 10 veya daha üstü sınıf temiz oda koşullarını korur.

Dikey fırın teknolojisinin sürekli gelişimi, yarı iletken endüstrisinin hassas üretime olan bağlılığını göstermekte olup, termal işleme sistemleri, birden fazla teknoloji sektöründe yeni nesil cihaz imalatını sağlamada giderek daha hayati bir rol oynamaktadır.