ιστολόγιο περίπου Η JTEKT Λανσάρει Προηγμένους Κάθετους Φούρνους για την Παραγωγή Ημιαγωγών

Στον κόσμο της μικρο-κλίμακας κατασκευής που καθορίζεται από την ακρίβεια, η δημιουργία συσκευών ημιαγωγών βασίζεται σε μια σειρά αυστηρών θερμικών διεργασιών. Οι κάθετοι κλίβανοι, που χρησιμεύουν ως βασικός εξοπλισμός στην επεξεργασία πλακιδίων, διαδραματίζουν έναν κρίσιμο ρόλο σε κρίσιμα στάδια όπως η εναπόθεση λεπτών φιλμ, η ανόπτηση και η σκλήρυνση ρητίνης. Με τη διακριτική κάθετη αρχιτεκτονική τους και τις ανώτερες δυνατότητες ελέγχου της διεργασίας, αυτά τα συστήματα έχουν γίνει απαραίτητα συστατικά στις σύγχρονες γραμμές παραγωγής ημιαγωγών.

Ένας κάθετος κλίβανος είναι ένα σύστημα επεξεργασίας παρτίδων σχεδιασμένο για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών, που χαρακτηρίζεται από τον κάθετα προσανατολισμένο σωλήνα χαλαζία του. Τα πλακίδια τοποθετούνται εντός της περιμέτρου του σωλήνα χαλαζία και υποβάλλονται σε ακριβώς ελεγχόμενες διαδικασίες θέρμανσης για την ολοκλήρωση διαφόρων βημάτων κατασκευής. Τα πλακίδια φορτώνονται σε βάρκες χαλαζία, οι οποίες εισάγονται και αφαιρούνται από το κάτω μέρος του σωλήνα διεργασίας.

Αυτός ο σχεδιασμός ελαχιστοποιεί τη δημιουργία σωματιδίων, ενώ παράλληλα προσφέρει εξαιρετική ομοιομορφία θερμοκρασίας και έλεγχο της ατμόσφαιρας, διασφαλίζοντας σταθερή ποιότητα και απόδοση επεξεργασίας πλακιδίων. Τα αυτοματοποιημένα συστήματα χειρισμού πλακιδίων και βαρκών ενισχύουν περαιτέρω την απόδοση της παραγωγής.

Οι παραδοσιακοί οριζόντιοι κλίβανοι παρουσιάζουν περιορισμούς κατά την επεξεργασία μεγαλύτερων πλακιδίων, συχνά με αποτέλεσμα την ασυνεπή πάχος φιλμ σε παρτίδες και επιφάνειες πλακιδίων, μαζί με μόλυνση από σωματίδια και σχηματισμό εγγενών οξειδίων. Επιπλέον, το αποτύπωμά τους επεκτείνεται σημαντικά με την αύξηση των μεγεθών των πλακιδίων. Οι κάθετοι κλίβανοι αντιμετωπίζουν αποτελεσματικά αυτές τις προκλήσεις, συμβάλλοντας στην ευρεία υιοθέτησή τους στην κατασκευή ημιαγωγών.

Η ανάπτυξη προηγμένων συστημάτων θερμικής επεξεργασίας χρονολογείται από το 1970, όταν η Tempress Japan εισήγαγε για πρώτη φορά οριζόντια συστήματα θερμικής επεξεργασίας στην αγορά εξοπλισμού ημιαγωγών. Η συνεχής καινοτομία έχει αποφέρει ένα ολοκληρωμένο χαρτοφυλάκιο τεχνολογιών θερμικής επεξεργασίας που έχουν συμβάλει σημαντικά στις εξελίξεις των ημιαγωγών παγκοσμίως.

• VF-5900 Κάθετος Κλίβανος Υψηλού Όγκου 300mm: Σχεδιασμένο για μαζική παραγωγή πλακιδίων 300mm με υψηλή απόδοση και ομοιομορφία. Ικανό να επεξεργάζεται 100 πλακίδια ανά παρτίδα με 16 θέσεις αποθήκευσης FOUP, ενισχύοντας τον αυτοματισμό και την παραγωγικότητα. Οι εφαρμογές εκτείνονται σε ημιαγωγούς, συσκευές ισχύος SiC, MEMS, VCSEL και φωτοβολταϊκές τεχνολογίες.
• VF-5700 Κάθετος Κλίβανος Μικρής Παρτίδας 300mm: Βελτιστοποιημένο για Έρευνα & Ανάπτυξη πλακιδίων 300mm και εξειδικευμένες διεργασίες, χειριζόμενο 50 πλακίδια ανά παρτίδα.
• VF-5300 Κάθετος Κλίβανος Υψηλού Όγκου 8 ιντσών: Κατάλληλο για παραγωγή πλακιδίων 6-8 ιντσών, επεξεργασία 150 πλακιδίων ανά παρτίδα με 20 θέσεις αποθήκευσης κασετών.
• VF-5100 Κάθετος Κλίβανος Πολλαπλών Χρήσεων 8 ιντσών: Ευέλικτη διαμόρφωση για πλακίδια 4-8 ιντσών, με μέγιστη χωρητικότητα 150 πλακιδίων και 4-8 θέσεις αποθήκευσης κασετών.
• VF-3000 8-ιντσών Οικονομικά Αποδοτικό Σύστημα Μικρής Παρτίδας: Συμπαγής σχεδιασμός για επεξεργασία πλακιδίων 4-8 ιντσών, χειριζόμενο έως και 50 πλακίδια (8 ιντσών) ή 75 πλακίδια (4-6 ιντσών) με 4-8 αποθήκευση κασετών.
• VF-1000 Συμπαγής Κάθετος Κλίβανος Έρευνας & Ανάπτυξης: Για παραγωγή μικρής κλίμακας και ερευνητικές εφαρμογές, επεξεργασία έως και 25 πλακιδίων (μέγιστο 8 ιντσών).
• VFS-4000 Κάθετος Κλίβανος Μεγάλης Διαμέτρου: Διευρυμένος θάλαμος διεργασίας για εξειδικευμένες εφαρμογές, χειριζόμενος 20-25 πλακίδια, που χρησιμοποιείται κυρίως στην κατασκευή οθονών επίπεδης επιφάνειας για διεργασίες όπως ανόπτηση μεταλλικών επαφών, συγκόλληση γυάλινων φριτών και αφυδάτωση.

• Ευέλικτες διαμορφώσεις εξοπλισμού με εναλλακτική τοποθέτηση ντουλαπιού αερίου
• Υποστήριξη για επεξεργασία ατμοσφαιρικής υγρής πηγής
• Δυνατότητες διεργασίας σεληνίωσης/θειώδωσης
• Επεξεργασία κενού μεγάλης διαμέτρου (G4+)
• Εξοπλισμός ανάπτυξης νανοσωλήνων άνθρακα
• Χειρισμός λεπτών πλακιδίων (≥80μm)
• Υποστήριξη πλακιδίων Fan-out
• Μεγάλα υποστρώματα πάνελ σκλήρυνσης πολυιμιδίου FPD
• Υγρή και ξηρή επεξεργασία κενού με έλεγχο μερικής πίεσης οξυγόνου
• Καθαρισμός in-situ χρησιμοποιώντας ClF3
• Συστήματα μεταφοράς παρτίδων κασετών χαλαζία
• Επεξεργασία επίπεδου πολυπυριτίου (χωρίς διαβάθμιση θερμοκρασίας)

Προηγμένα εργαστήρια επίδειξης και δοκιμών επιτρέπουν την επαλήθευση της διεργασίας και την αξιολόγηση της απόδοσης του εξοπλισμού. Αυτές οι εγκαταστάσεις διατηρούν συνθήκες καθαρού δωματίου κατηγορίας 10 ή ανώτερης για την ακριβή προσομοίωση περιβαλλόντων παραγωγής, επιτρέποντας τη βελτιστοποίηση της διεργασίας και τη βελτίωση των παραμέτρων.

Η συνεχής πρόοδος της τεχνολογίας κάθετου κλιβάνου καταδεικνύει τη δέσμευση της βιομηχανίας ημιαγωγών στην κατασκευή ακριβείας, με τα συστήματα θερμικής επεξεργασίας να διαδραματίζουν έναν ολοένα και πιο ζωτικό ρόλο στην ενεργοποίηση της κατασκευής συσκευών επόμενης γενιάς σε πολλούς τεχνολογικούς τομείς.