Trong thế giới sản xuất vi mô chính xác, việc tạo ra các thiết bị bán dẫn dựa vào một loạt các quy trình nhiệt nghiêm ngặt. Lò nung đứng, đóng vai trò là thiết bị cốt lõi trong quá trình xử lý tấm bán dẫn, đóng một vai trò then chốt trong các giai đoạn quan trọng như lắng đọng màng mỏng, ủ và đóng rắn nhựa. Với kiến trúc thẳng đứng đặc biệt và khả năng kiểm soát quy trình vượt trội, các hệ thống này đã trở thành những thành phần không thể thiếu trong các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn hiện đại.
Lò nung đứng là một hệ thống xử lý theo lô được thiết kế để chế tạo thiết bị bán dẫn, được đặc trưng bởi ống thạch anh định hướng theo chiều dọc. Các tấm bán dẫn được đặt bên trong chu vi của ống thạch anh và trải qua các quy trình gia nhiệt được kiểm soát chính xác để hoàn thành các bước sản xuất khác nhau. Các tấm bán dẫn được nạp vào các thuyền thạch anh, được đưa vào và lấy ra từ đáy của ống quy trình.
Thiết kế này giảm thiểu sự phát sinh hạt trong khi mang lại sự đồng đều về nhiệt độ và kiểm soát khí quyển đặc biệt, đảm bảo chất lượng và hiệu quả xử lý tấm bán dẫn nhất quán. Hệ thống xử lý tấm bán dẫn và thuyền tự động giúp tăng cường hơn nữa thông lượng sản xuất.
Lò nung ngang truyền thống thể hiện những hạn chế khi xử lý các tấm bán dẫn lớn hơn, thường dẫn đến độ dày màng không nhất quán trên các lô và bề mặt tấm bán dẫn, cùng với sự nhiễm bẩn hạt và sự hình thành oxit tự nhiên. Ngoài ra, diện tích của chúng mở rộng đáng kể khi kích thước tấm bán dẫn tăng lên. Lò nung đứng giải quyết hiệu quả những thách thức này, góp phần vào việc chúng được ứng dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn.
Sự phát triển của các hệ thống xử lý nhiệt tiên tiến bắt nguồn từ năm 1970 khi Tempress Japan lần đầu tiên giới thiệu các hệ thống xử lý nhiệt ngang ra thị trường thiết bị bán dẫn. Sự đổi mới liên tục đã tạo ra một danh mục công nghệ xử lý nhiệt toàn diện, đã đóng góp đáng kể vào những tiến bộ của chất bán dẫn trên toàn cầu.
| Model | VF-5900 | VF-5700 | VF-5300 | VF-5100 | VF-3000 | VF-1000 | VFS-4000 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Kích thước (W×D×H) | 1250×3200×3450 mm | 1250×2000×2850 mm | 900×2300×3300 mm | 1000×1950×3300 mm | 1200×1450×2610 mm | 1500×1000×2130 mm | Tùy chỉnh |
| Chiều dài vùng đồng đều | 1040 mm | 500 mm | 960 mm | 360-960 mm | ≤360 mm | ≤250 mm | Tùy chỉnh |
| Kích thước tấm bán dẫn | 300 mm | 300 mm | 6-8 inch | 4-8 inch | 4-8 inch | ≤8 inch | Tùy chỉnh |
| Khả năng theo lô | 100 tấm bán dẫn | 50 tấm bán dẫn | 150 tấm bán dẫn | Tối đa 150 | Tối đa 75 (50 cho 8") | ≤25 | 20-25 |
Các phòng thí nghiệm trình diễn và thử nghiệm tiên tiến cho phép xác minh quy trình và đánh giá hiệu suất thiết bị. Các cơ sở này duy trì các điều kiện phòng sạch loại 10 trở lên để mô phỏng chính xác môi trường sản xuất, cho phép tối ưu hóa quy trình và tinh chỉnh thông số.
Sự tiến bộ liên tục của công nghệ lò nung đứng thể hiện cam kết của ngành công nghiệp bán dẫn đối với sản xuất chính xác, với các hệ thống xử lý nhiệt đóng một vai trò ngày càng quan trọng trong việc cho phép chế tạo thiết bị thế hệ tiếp theo trên nhiều lĩnh vực công nghệ.
Người liên hệ: Mr. zang
Tel: 18010872860
Fax: 86-0551-62576378
