Productbeschrijving
MBF100-10 Type Chemische Dampdepositie CVD Oven 1000°C Smeltoven Verhittingsoven ISO Gecertificeerd Elektrische Brandstof
1. Apparaatnaam en Model
MBF100-10 Type Chemische Dampdepositie Oven
De MBF100-10 Type Chemische Dampdepositie (CVD) Oven is geschikt voor warmtebehandeling op middentemperatuur van elektronische producten. Het wordt voornamelijk gebruikt voor gasfase reactieprocessen van gerelateerde materialen in atmosferen van stikstof, helium, acetyleen en waterstof. Het kan ook worden gebruikt voor sinterprocessen van gerelateerde materialen onder beschermende atmosferen.
2. Technische Specificaties en Basisconfiguratie
- Nominale Temperatuur: 750°C
- Maximum Temperatuur: 1000°C
- Afmetingen Verwarmingszone: 770 × 770 × 300 mm (B × D × H)
- Effectieve Afmetingen: 640 × 640 × 250 mm (B × D × H)
- Materiaal Buitenkamer: SUS310S
- Materiaal Binnenvoering: Gesmolten Kwarts
- Productgrootte: Φ120
- Apparaatcapaciteit: 16 substraten per batch
- Maximaal Verwarmingsvermogen: 16 kW
- Verwarmingsmethode: Onderkant + Vier Zijkanten
- Temperatuurcontrolepunten: Onderkant + Zijkant
- Thermokoppel Type: K-Type
- Verwarmingssnelheid: ≤8°C/min
- Verwarmingselementen: FEC Keramische Vezel Verwarmers
- Openingsmethode Ovendeur: Top-Opening Design
- Temperatuurcontrole Stabiliteit: ±1°C
- Temperatuurcontrole Instrument: Geïmporteerde PID Controller met Auto-Tuning Functie
- Programma Stappen: 20 stappen
- Alarm en Bescherming: Over-temperatuur, thermokoppel breuk en andere hoorbare/visuele alarmen, met over-temperatuur uitschakelbeveiliging
- Oppervlaktetemperatuurstijging: <35°C
- Gewicht: ongeveer 500kg
- Oven Afmetingen: ongeveer 1200×1200×1500mm (B×H×D)
3. Leveringslijst
| Item |
Opmerking |
AANTAL |
| Basis Samenstellingen |
| Oven |
|
1 eenheid |
| Inspectiecertificaten |
Oven en belangrijke aangekochte componenten |
1 Set |
| Technische Documenten |
Ovenspecificaties, technische documenten van belangrijke aangekochte componenten, etc. |
1 Set |
| Belangrijkste Onderdelen |
| Mass Flow Controller (MFC) |
Yamatake of HORIBA |
4 Set |
| Touchscreen |
|
1 PC |
| Temperatuurregelaar |
|
1 Set |
| FEC Verwarmer |
|
1 Set |
| Kwarts Voering |
|
1 Set |
| Reserveonderdelen |
| SSR |
|
1 PC |
4. Faciliteitseisen
4.1 Omgevingscondities: Temperatuur 0 - 40°C, vochtigheid ≤ 80% RV, geen corrosief gas, geen sterke luchtstroom verstoring.
4.2 Grondvereisten: waterpas, geen duidelijke trillingen, draagvermogen > 500Kg/m².
4.3 Stroomcondities: capaciteit groter dan 22kVA, 3 fasen 5 lijnen, spanning 220/380V, frequentie 50Hz (afhankelijk van de lokale situatie). Live draad: geel, groen, rood, neutrale draad: blauw, aardedraad: geel-groen.
4.4 Installatieplaats: 1500mm×1500mm×3000mm (B×H×D), installatieoppervlak groter dan 2.5m².
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
