Περιγραφή προϊόντος
MBF100-10 Τύπος Χημικός ατμός εναπόθεση CVD Furnace 1000 ° C Μήργος Furnace Furnace Furnace Certified Electric Fuel
1. Όνομα και μοντέλο εξοπλισμού
MBF100-10 Τύπος Χημικός ατμός
Ο φούρνος χημικών ατμών (CVD) τύπου MBF100-10 είναι κατάλληλος για θερμική επεξεργασία μεσαίας θερμοκρασίας των ηλεκτρονικών προϊόντων. Χρησιμοποιείται κυρίως για διεργασίες αντίδρασης αερίου φάσης σχετικών υλικών σε ατμόσφαιρες αζώτου, ήλιου, ακετυλενίου και υδρογόνου. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για διαδικασίες πυροσυσσωμάτωσης σχετικών υλικών υπό προστατευτικές ατμόσφαιρες.
2. Τεχνικές προδιαγραφές και βασική διαμόρφωση
- Η ονομαστική θερμοκρασία:750 ° C
- Μέγιστη θερμοκρασία:1000 ° C
- Διαστάσεις ζώνης θέρμανσης:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
- Αποτελεσματικές διαστάσεις:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
- Υλικό εξωτερικού θαλάμου:SUS310S
- Εσωτερική επένδυση υλικού:Συντηγμένος χαλαζία
- Μέγεθος προϊόντος:Φ120
- Χωρητικότητα εξοπλισμού:16 υποστρώματα ανά παρτίδα
- Μέγιστη ισχύς θέρμανσης:16 kW
- Μέθοδος θέρμανσης:Κάτω + τέσσερις πλευρές
- Σημεία ελέγχου θερμοκρασίας:Κάτω + πλευρά
- Τύπος θερμοστοιχείων:Κ-τύπου
- Ρυθμός θέρμανσης:≤8 ° C/λεπτό
- Στοιχεία θέρμανσης:Κεραμικές θερμοσίφωνες FEC
- Μέθοδος ανοίγματος πόρτας φούρνου:Σχεδίαση κορυφαίου ανοίγματος
- Σταθερότητα ελέγχου θερμοκρασίας:± 1 ° C
- Όργανο ελέγχου θερμοκρασίας:Εισαγόμενος ελεγκτής PID με λειτουργία αυτόματης ρύθμισης
- Βήματα προγράμματος:20 βήματα
- Συναγερμός και προστασία:Υπερ-θερμοκρασία, θραύση θερμοστοιχείων και άλλοι ακουστικοί/οπτικοί συναγερμοί, με προστασία από υπερβολική θερμοκρασία
- Αύξηση της θερμοκρασίας επιφάνειας:<35 ° C
- Βάρος:περίπου 500 κιλά
- Διαστάσεις φούρνου:Περίπου 1200 × 1200 × 1500mm (W × H × D)
3. Λίστα παράδοσης
| Είδος |
Σημείωμα |
Περιττώ |
| Βασικές συνθέσεις |
| Κάμινος |
|
1 μονάδα |
| Πιστοποιητικά επιθεώρησης |
Φούρνος και μεγάλα αγορασμένα εξαρτήματα |
1 σετ |
| Τεχνικά έγγραφα |
Οι προδιαγραφές του φούρνου, τα τεχνικά έγγραφα των μεγάλων αγορασμένων εξαρτημάτων κ.λπ. |
1 σετ |
| Βασικά μέρη |
| Ελεγκτής ροής μάζας (MFC) |
Yamatake ή Horiba |
4 σετ |
| Οθόνη αφής |
|
1 υπολογιστή |
| Ελεγκτής θερμοκρασίας |
|
1 σετ |
| Θερμαντήρας FEC |
|
1 σετ |
| Επένδυση χαλαζία |
|
1 σετ |
| Ανταλλακτικά |
| SSR |
|
1 υπολογιστή |
4. Απαιτήσεις εγκατάστασης
4.1 Περιβαλλοντικές συνθήκες:Θερμοκρασία 0 - 40 ° C, υγρασία ≤ 80% RH, χωρίς διαβρωτικό αέριο, χωρίς ισχυρή διαταραχή ροής αέρα.
4.2 Απαιτήσεις εδάφους:Επίπεδο, χωρίς προφανή δόνηση, χωρητικότητα ρουλεμάν> 500kg/m².
4.3 Συνθήκες ισχύος:χωρητικότητα μεγαλύτερη από 22kva, 3 φάσεις 5 γραμμές, τάση 220/380V, συχνότητα 50Hz (σύμφωνα με την τοπική κατάσταση). Ζωντανό σύρμα: κίτρινο, πράσινο, κόκκινο, ουδέτερο σύρμα: μπλε, καλώδιο γείωσης: κίτρινο-πράσινο.
4.4 Ιστοσελίδα εγκατάστασης:1500mm × 1500mm × 3000mm (W × H × D), περιοχή εγκατάστασης μεγαλύτερη από 2,5m².
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
