Forneau de dépôt de vapeur chimique CVD 1000 Ordm C Forneau de chauffage par fusion

MBF100-10 Type de dépôt chimique de vapeur Fourneau CVD 1000°C Forneau de fusion Forneau de chauffage Carburant électrique certifié ISO

Forneau de dépôt de vapeur chimique de type MBF100-10

Le four de dépôt de vapeur chimique (CVD) de type MBF100-10 convient au traitement thermique à température moyenne des produits électroniques.Il est principalement utilisé pour les processus de réaction en phase gazeuse de matériaux apparentés dans des atmosphères d'azoteIl peut également être utilisé pour les processus de frittage de matériaux apparentés dans des atmosphères de protection.

• Température nominale:750°C
• Température maximale:1000°C
• Dimensions de la zone de chauffage:Le nombre de points d'étanchéité doit être supérieur ou égal à:
• Les dimensions effectives:Pour les véhicules à moteur à commande autonome, la valeur de l'échantillon doit être égale ou supérieure à:
• Matériau de la chambre extérieure:SUS310S
• Matériau du revêtement intérieur:Quartz fondu
• Taille du produit:Φ120
• Capacité des équipements:16 substrats par lot
• Puissance de chauffage maximale:16 kW
• Méthode de chauffage:Le fond + les quatre côtés
• Les points de contrôle de la température:Sous + côté
• Type de thermocouple:Type K
• Taux de chauffage:≤ 8°C/min
• Éléments de chauffage:Chauffe-eau en fibre de céramique FEC
• Méthode d'ouverture de la porte du four:Conception de l'ouverture supérieure
• Stabilité de régulation de la température:± 1°C
• Instrument de régulation de la température:Contrôleur PID importé avec fonction de réglage automatique
• Étapes du programme:20 étapes
• Alarme et protection:Alarmes de surchauffe, de rupture du thermocouple et autres alarmes sonores/visuelles, avec protection contre l'arrêt de l'alimentation par surchauffe
• Hausse de la température de surface:< 35°C
• Poids:environ 500 kg
• Dimensions du four:environ 1200×1200×1500 mm (W × H × D)

4.1 Conditions environnementales:Température de 0 à 40°C, humidité ≤ 80% RH, pas de gaz corrosif, pas de perturbation importante du débit d'air.

4.2 Exigences relatives au sol:niveau, aucune vibration évidente, capacité de support > 500 kg/m2.

4.3 Conditions de puissance:capacité supérieure à 22kVA, 3 phases 5 lignes, tension 220/380V, fréquence 50Hz ((selon la situation locale). fil courant: jaune, vert, rouge, fil neutre: bleu, fil de terre: jaune-vert.

4.4 Lieu d'installation:1500 mm × 1500 mm × 3000 mm (W × H × D), surface d'installation supérieure à 2,5 m2.