کوره گازی بخار شیمیایی CVD 1000 Ordm C کوره گرمایش ذوب

کوره CVD رسوب‌دهی بخار شیمیایی مدل MBF100-10، 1000 درجه سانتی‌گراد، کوره ذوب گرمایشی، دارای گواهی ISO، سوخت الکتریکی

کوره رسوب‌دهی بخار شیمیایی مدل MBF100-10

کوره رسوب‌دهی بخار شیمیایی (CVD) مدل MBF100-10 برای عملیات حرارتی در دمای متوسط محصولات الکترونیکی مناسب است. این کوره عمدتاً برای فرآیندهای واکنش فاز گازی مواد مرتبط در اتمسفر نیتروژن، هلیوم، استیلن و هیدروژن استفاده می‌شود. همچنین می‌توان از آن برای فرآیندهای تف جوشی مواد مرتبط در اتمسفرهای محافظ استفاده کرد.

• دمای نامی: 750 درجه سانتی‌گراد
• حداکثر دما: 1000 درجه سانتی‌گراد
• ابعاد ناحیه گرمایش: 770 × 770 × 300 میلی‌متر (عرض × عمق × ارتفاع)
• ابعاد موثر: 640 × 640 × 250 میلی‌متر (عرض × عمق × ارتفاع)
• جنس محفظه بیرونی: SUS310S
• جنس آستر داخلی: کوارتز ذوبی
• اندازه محصول: Φ120
• ظرفیت تجهیزات: 16 زیرلایه در هر دسته
• حداکثر توان گرمایش: 16 کیلووات
• روش گرمایش: پایین + چهار طرف
• نقاط کنترل دما: پایین + طرف
• نوع ترموکوپل: نوع K
• نرخ گرمایش: ≤8 درجه سانتی‌گراد در دقیقه
• المنت های گرمایشی: المنت های گرمایشی فیبر سرامیکی FEC
• روش باز شدن درب کوره: طراحی بازشونده از بالا
• پایداری کنترل دما: ±1 درجه سانتی‌گراد
• ابزار کنترل دما: کنترلر PID وارداتی با عملکرد تنظیم خودکار
• مراحل برنامه: 20 مرحله
• هشدار و حفاظت: دمای بیش از حد، شکستگی ترموکوپل و سایر هشدارهای صوتی/تصویری، با حفاظت از خاموش شدن در دمای بیش از حد
• افزایش دمای سطح: <35 درجه سانتی‌گراد
• وزن: حدود 500 کیلوگرم
• ابعاد کوره: حدود 1200 × 1200 × 1500 میلی‌متر (عرض × ارتفاع × عمق)

4.1 شرایط محیطی: دما 0 - 40 درجه سانتی‌گراد، رطوبت ≤ 80٪ RH، بدون گاز خورنده، بدون اختلال جریان هوای قوی.

4.2 الزامات زمین: تراز، بدون لرزش آشکار، ظرفیت باربری > 500 کیلوگرم بر متر مربع.

4.3 شرایط برق: ظرفیت بیشتر از 22kVA، 3 فاز 5 خط، ولتاژ 220/380 ولت، فرکانس 50 هرتز (با توجه به شرایط محلی). سیم زنده: زرد، سبز، قرمز، سیم خنثی: آبی، سیم ارت: زرد-سبز.

4.4 محل نصب: 1500 میلی‌متر × 1500 میلی‌متر × 3000 میلی‌متر (عرض × ارتفاع × عمق)، مساحت نصب بیشتر از 2.5 متر مربع.