CVD Chemical Vapor Deposition Furnace 1000°C Melting Heating Furnace Pemanasan Pemanasan
Deskripsi Produk
MBF100-10 Tipe Pengendapan Uap Kimia Tungku CVD 1000°C Tungku Peleburan Tungku Pemanasan Bahan bakar listrik bersertifikat ISO
1Nama dan Model Peralatan
MBF100-10 Tipe Tungku Pengendapan Uap Kimia
Oven Pengendapan Uap Kimia (CVD) tipe MBF100-10 cocok untuk pengolahan panas suhu menengah dari produk elektronik.Hal ini terutama digunakan untuk proses reaksi fase gas dari bahan terkait dalam atmosfer nitrogenHal ini juga dapat digunakan untuk proses sintering bahan terkait di bawah atmosfer pelindung.
2Spesifikasi Teknis dan Konfigurasi Dasar
- Suhu nominal:750°C
- Suhu maksimum:1000°C
- Dimensi zona pemanasan:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
- Dimensi Efektif:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
- Bahan ruang luar:SUS310S
- Bahan lapisan dalam:Kuarsa yang dilelehkan
- Ukuran produk:Φ120
- Kapasitas Peralatan:16 substrat per batch
- Kekuatan pemanasan maksimum:16 kW
- Metode Pemanasan:Bagian bawah + empat sisi
- Titik kontrol suhu:Bagian bawah + sisi
- Jenis termokopel:K-Type
- Tingkat pemanasan:≤ 8°C/menit
- Elemen Pemanasan:Pemanas Serat Keramik FEC
- Metode pembukaan pintu tungku:Desain Pembukaan Atas
- Stabilitas kontrol suhu:± 1°C
- Instrumen Kontrol Suhu:Pengontrol PID yang diimpor dengan fungsi penyetelan otomatis
- Langkah Program:20 langkah
- Alarm dan Perlindungan:Suhu yang terlalu tinggi, kerusakan termokopel, dan alarm suara/visual lainnya, dengan perlindungan mati daya suhu yang terlalu tinggi
- Peningkatan suhu permukaan:< 35°C
- Berat:sekitar 500kg
- Dimensi tungku:sekitar 1200×1200×1500mm (W×H×D)
3Daftar Pengiriman
| Artikel |
Catatan |
QTY |
| Komposisi Dasar |
| Tungku |
|
1 unit |
| Sertifikat Inspeksi |
Tungku dan komponen utama yang dibeli |
1 set |
| Dokumen Teknis |
Spesifikasi tungku, dokumen teknis komponen utama yang dibeli, dll. |
1 set |
| Bagian Utama |
| Pengontrol Aliran Massa (MFC) |
Yamatake atau HORIBA |
4 Set |
| Layar sentuh |
|
1 PC |
| Pengontrol suhu |
|
1 set |
| Pemanas FEC |
|
1 set |
| Liner Kuarsa |
|
1 set |
| Pengecoran |
| SSR |
|
1 PC |
4. Persyaratan Fasilitas
4.1 Kondisi lingkungan:Suhu 0 - 40°C, kelembaban ≤ 80% RH, tidak ada gas korosif, tidak ada gangguan aliran udara yang kuat.
4.2 Persyaratan dasar:tingkat, tidak ada getaran yang jelas, kapasitas bantalan > 500Kg/m2.
4.3 Kondisi daya:kapasitas lebih dari 22kVA, 3 fase 5 jalur, tegangan 220/380V, frekuensi 50Hz ((sesuai dengan situasi lokal). kabel hidup: kuning, hijau, merah, kabel netral: biru, kabel tanah: kuning-hijau.
4.4 Tempat pemasangan:1500mm×1500mm×3000mm (W×H×D), luas instalasi lebih dari 2,5m2.
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
