CVD печь химического осаждения из паровой фазы 1000°C печь для плавления и нагрева
Описание продукта
MBF100-10 Тип печи химического осаждения из паровой фазы (CVD) 1000°C печь для плавления и нагрева, сертифицированная ISO, электрическое топливо
1. Название и модель оборудования
Печь химического осаждения из паровой фазы (CVD) типа MBF100-10
Печь химического осаждения из паровой фазы (CVD) типа MBF100-10 подходит для среднетемпературной термообработки электронных изделий. Она в основном используется для газофазных реакций соответствующих материалов в атмосфере азота, гелия, ацетилена и водорода. Она также может использоваться для процессов спекания соответствующих материалов в защитной атмосфере.
2. Технические характеристики и базовая конфигурация
- Номинальная температура: 750°C
- Максимальная температура: 1000°C
- Размеры зоны нагрева: 770 × 770 × 300 мм (Ш × Г × В)
- Эффективные размеры: 640 × 640 × 250 мм (Ш × Г × В)
- Материал внешней камеры: SUS310S
- Материал внутренней облицовки: Плавленый кварц
- Размер продукта: Φ120
- Производительность оборудования: 16 подложек за партию
- Максимальная мощность нагрева: 16 кВт
- Метод нагрева: Дно + четыре стороны
- Точки контроля температуры: Дно + боковая сторона
- Тип термопары: Тип K
- Скорость нагрева: ≤8°C/мин
- Нагревательные элементы: FEC керамические волоконные нагреватели
- Метод открытия дверцы печи: Конструкция с верхним открытием
- Стабильность контроля температуры: ±1°C
- Прибор контроля температуры: Импортный PID-контроллер с функцией автоматической настройки
- Шаги программы: 20 шагов
- Сигнализация и защита: Перегрев, обрыв термопары и другие звуковые/визуальные сигналы тревоги с защитой от отключения питания при перегреве
- Повышение температуры поверхности: <35°C
- Вес: около 500 кг
- Размеры печи: около 1200×1200×1500 мм (Ш×В×Г)
3. Комплект поставки
| Элемент |
Примечание |
Количество |
| Основные компоненты |
| Печь |
|
1 единица |
| Сертификаты инспекции |
Печь и основные приобретенные компоненты |
1 комплект |
| Техническая документация |
Спецификации печи, техническая документация на основные приобретенные компоненты и т. д. |
1 комплект |
| Основные детали |
| Контроллер массового расхода (MFC) |
Yamatake или HORIBA |
4 комплекта |
| Сенсорный экран |
|
1 шт. |
| Контроллер температуры |
|
1 комплект |
| FEC нагреватель |
|
1 комплект |
| Кварцевая облицовка |
|
1 комплект |
| Запасные части |
| SSR |
|
1 шт. |
4. Требования к установке
4.1 Условия окружающей среды: Температура 0 - 40°C, влажность ≤ 80% относительной влажности, отсутствие коррозионного газа, отсутствие сильных воздушных потоков.
4.2 Требования к основанию: ровное, отсутствие видимой вибрации, несущая способность > 500 кг/м².
4.3 Условия электропитания: мощность больше 22 кВА, 3 фазы 5 линий, напряжение 220/380 В, частота 50 Гц (в соответствии с местными условиями). Фазный провод: желтый, зеленый, красный, нейтральный провод: синий, заземляющий провод: желто-зеленый.
4.4 Место установки: 1500 мм×1500 мм×3000 мм (Ш×В×Г), площадь установки больше 2,5 м².
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
