Produktbeschreibung
MBF100-10 Chemische Dampfabscheidung CVD-Ofen 1000 ° C Schmelzofen Heizofen ISO zertifiziert elektrische Kraftstoff
1. Ausrüstung Name und Modellmodell
MBF100-10 Chemischer Dampfablagerungsofen
Der MBF100-10 Chemische Dampfabscheidungsofen (CVD) eignet sich zur Behandlung von elektronischen Produkten mit mittlerer Temperatur-Wärme. Es wird hauptsächlich für Gasphasenreaktionsprozesse verwandter Materialien in Atmosphären von Stickstoff, Helium, Acetylen und Wasserstoff verwendet. Es kann auch zum Sinterprozessen verwandter Materialien unter Schutzatmosphäre verwendet werden.
2. Technische Spezifikationen und grundlegende Konfiguration
- Nenntemperatur:750 ° C.
- Maximale Temperatur:1000 ° C.
- Heizzonenabmessungen:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
- Effektive Dimensionen:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
- Außenkammermaterial:Sus310s
- Inneres Linermaterial:Fusionsquarz
- Produktgröße:Φ120
- Ausrüstungskapazität:16 Substrate pro Charge
- Maximale Heizleistung:16 kW
- Heizmethode:Unten + vier Seiten
- Temperaturkontrollpunkte:Unten + Seite
- Thermoelementtyp:K-Typ
- Heizrate:≤ 8 ° C/min
- Heizelemente:FEC -Keramikfaserheizungen
- Ofen Türöffnungsmethode:Top-Öffnung-Design
- Stabilität der Temperaturregelung:± 1 ° C
- Temperaturkontrollinstrument:Importierter PID-Controller mit automatischer Einstellfunktion
- Programmschritte:20 Schritte
- Alarm und Schutz:Übertemperatur, Thermoelementbruch und andere hörbare/visuelle Alarme mit Übertemperaturschutzschutz
- Oberflächentemperaturanstieg:<35 ° C.
- Gewicht:ungefähr 500 kg
- Ofenabmessungen:ca. 1200 × 1200 × 1500 mm (W × H × D)
3. Lieferliste
| Artikel |
Notiz |
Qty |
| Grundkompositionen |
| Ofen |
|
1 Einheit |
| Inspektionszertifikate |
Ofen und wichtige gekaufte Komponenten |
1 Set |
| Technische Dokumente |
Ofenspezifikationen, technische Dokumente wichtiger gekaufter Komponenten usw. |
1 Set |
| Schlüsselteile |
| Massenflussregler (MFC) |
Yamatake oder Horiba |
4 eingestellt |
| Touch-Screen |
|
1 PC |
| Temperaturregler |
|
1 Set |
| FEC -Heizung |
|
1 Set |
| Quarz Liner |
|
1 Set |
| Ersatzteile |
| SSR |
|
1 PC |
4. Anforderungen der Einrichtung
4.1 Umgebungsbedingungen:Temperatur 0 - 40 ° C, Luftfeuchtigkeit ≤ 80% RH, kein ätzendes Gas, keine starke Luftstromstörung.
4.2 Bodenanforderungen:Level, keine offensichtliche Vibration, Lagerkapazität> 500 kg/m².
4.3 Leistungsbedingungen:Kapazität größer als 22 kVa, 3 Phasen 5 Linien, Spannung 220/380 V, Frequenz 50 Hz (nach lokaler Situation). Live-Draht: Gelb, grün, rot, neutral Draht: Blau, Erdungsdraht: Gelbgrün.
4.4 Installationsstelle:1500 mm × 1500 mm × 3000 mm (W × H × D), Installationsfläche mehr als 2,5 m².
Ihre Nachricht muss zwischen 20 und 3.000 Zeichen enthalten!
