CVD lò xả hơi hóa học 1000 Ordm C lò sưởi nóng chảy

MBF100-10 Loại Chất hóa học hơi lắng đọng CVD lò 1000 °C lò nóng chảy lò sưởi ấm ISO chứng nhận nhiên liệu điện

MBF100-10 Loại lò lắng đọng hơi hóa học

Cửa lò lắng đọng hơi hóa học (CVD) loại MBF100-10 phù hợp với xử lý nhiệt nhiệt độ trung bình của các sản phẩm điện tử.Nó chủ yếu được sử dụng cho các quá trình phản ứng pha khí của các vật liệu liên quan trong khí quyển nitơNó cũng có thể được sử dụng cho các quy trình ngâm các vật liệu liên quan dưới bầu khí quyển bảo vệ.

• Nhiệt độ định danh:750°C
• Nhiệt độ tối đa:1000°C
• Kích thước vùng sưởi ấm:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
• Các kích thước hiệu quả:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
• Vật liệu phòng bên ngoài:SUS310S
• Vật liệu lót bên trong:Thạch anh nóng chảy
• Kích thước sản phẩm:Φ120
• Công suất thiết bị:16 chất nền mỗi lô
• Công suất sưởi tối đa:16 kW
• Phương pháp làm nóng:Bottom + 4 mặt
• Các điểm kiểm soát nhiệt độ:Bottom + Side
• Loại nhiệt cặp:Loại K
• Tỷ lệ sưởi ấm:≤ 8°C/min
• Các yếu tố sưởi ấm:FEC Ceramic Fiber Heaters
• Phương pháp mở cửa lò:Thiết kế mở trên cùng
• Độ ổn định điều khiển nhiệt độ:± 1°C
• Công cụ điều khiển nhiệt độ:Bộ điều khiển PID nhập khẩu với chức năng tự động
• Bước chương trình:20 bước
• Cảnh báo và bảo vệ:Cảnh báo nhiệt độ quá cao, vỡ nhiệt cặp và các báo động âm thanh / hình ảnh khác, có bảo vệ tắt điện quá cao
• Nhiệt độ bề mặt tăng:< 35°C
• Trọng lượng:khoảng 500kg
• Kích thước lò:khoảng 1200×1200×1500mm (W × H × D)

4.1 Điều kiện môi trường:Nhiệt độ 0 - 40 °C, độ ẩm ≤ 80% RH, không có khí ăn mòn, không có sự xáo trộn mạnh mẽ của luồng không khí.

4.2 Yêu cầu về mặt đất:mức độ, không có rung động rõ ràng, dung lượng chịu > 500Kg/m2.

4.3 Điều kiện điện:Công suất lớn hơn 22kVA, 3 giai đoạn 5 đường dây, điện áp 220/380V, tần số 50Hz ((theo tình hình địa phương).

4.4 Địa điểm lắp đặt:1500mm × 1500mm × 3000mm (W × H × D), diện tích lắp đặt lớn hơn 2,5m2.