Descripción del Producto
MBF100-10 Tipo de depósito de vapor químico Horno CVD 1000 ° C FULBO DE MEDILA CALEFICIO COMBUSTIBLE CERTIFICADO CERTIFICADO ISO
1. Nombre y modelo del equipo
Horno de deposición de vapor químico MBF100-10 Tipo
El horno de depósito de vapor químico (CVD) de tipo MBF100-10 es adecuado para el tratamiento térmico de temperatura media de productos electrónicos. Se utiliza principalmente para procesos de reacción en fase gaseosa de materiales relacionados en atmósferas de nitrógeno, helio, acetileno e hidrógeno. También se puede utilizar para los procesos de sinterización de materiales relacionados bajo atmósferas protectores.
2. Especificaciones técnicas y configuración básica
- Temperatura nominal:750 ° C
- Temperatura máxima:1000 ° C
- Dimensiones de la zona de calentamiento:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
- Dimensiones efectivas:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
- Material de la cámara exterior:Sus310
- Material de revestimiento interno:Cuarzo fusionado
- Tamaño del producto:Φ120
- Capacidad del equipo:16 sustratos por lote
- Potencia de calentamiento máxima:16 kW
- Método de calentamiento:Inferior + cuatro lados
- Puntos de control de temperatura:Abajo + lado
- Tipo de termopar:Tipo k
- Tasa de calefacción:≤8 ° C/min
- Elementos de calefacción:Calentadores de fibra de cerámica FEC
- Método de apertura de la puerta del horno:Diseño de apertura superior
- Estabilidad de control de temperatura:± 1 ° C
- Instrumento de control de temperatura:Controlador PID importado con función de ajuste automático
- Pasos del programa:20 pasos
- Alarma y protección:Sobre-temperatura, rotura de termopar y otras alarmas audibles/visuales, con protección de apagado a exceso de temperatura
- Aumento de la temperatura de la superficie:<35 ° C
- Peso:alrededor de 500 kg
- Dimensiones del horno:Alrededor de 1200 × 1200 × 1500 mm (W × H × D)
3. Lista de entrega
| Artículo |
Nota |
Cantidad |
| Composiciones básicas |
| Horno |
|
1 unidad |
| Certificados de inspección |
Horno y componentes comprados principales |
1 set |
| Documentos técnicos |
Especificaciones de horno, documentos técnicos de los principales componentes comprados, etc. |
1 set |
| Partes clave |
| Controlador de flujo de masa (MFC) |
Yamatake u Horiba |
4 set |
| Pantalla táctil |
|
1 PC |
| Controlador de temperatura |
|
1 set |
| Calentador FEC |
|
1 set |
| Forro de cuarzo |
|
1 set |
| Repuestos |
| SSR |
|
1 PC |
4. Requisitos de la instalación
4.1 Condiciones ambientales:Temperatura 0 - 40 ° C, humedad ≤ 80% HR, sin gas corrosivo, sin alteraciones de flujo de aire fuerte.
4.2 Requisitos de tierra:Nivel, sin vibración obvia, capacidad de carga> 500 kg/m².
4.3 Condiciones de energía:Capacidad mayor que 22kVA, 3 fases 5 líneas, voltaje 220/380V, frecuencia 50Hz (según la situación local). Alambre vivo: amarillo, verde, rojo, alambre neutro: azul, alambre de tierra: amarillo verde.
4.4 Sitio de instalación:1500 mm × 1500 mm × 3000 mm (W × H × D), área de instalación superior a 2.5m².
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