Descrição do Produto
Forno CVD de Deposição Química de Vapor Tipo MBF100-10 1000°C Forno de Fusão Forno de Aquecimento Certificado ISO Combustível Elétrico
1. Nome e Modelo do Equipamento
Forno de Deposição Química de Vapor Tipo MBF100-10
O Forno de Deposição Química de Vapor (CVD) Tipo MBF100-10 é adequado para tratamento térmico de produtos eletrônicos em temperatura média. É usado principalmente para processos de reação em fase gasosa de materiais relacionados em atmosferas de nitrogênio, hélio, acetileno e hidrogênio. Também pode ser utilizado para processos de sinterização de materiais relacionados em atmosferas protetoras.
2. Especificações Técnicas e Configuração Básica
- Temperatura Nominal: 750°C
- Temperatura Máxima: 1000°C
- Dimensões da Zona de Aquecimento: 770 × 770 × 300 mm (L × P × A)
- Dimensões Efetivas: 640 × 640 × 250 mm (L × P × A)
- Material da Câmara Externa: SUS310S
- Material do Revestimento Interno: Quartzo Fundido
- Tamanho do Produto: Φ120
- Capacidade do Equipamento: 16 substratos por lote
- Potência Máxima de Aquecimento: 16 kW
- Método de Aquecimento: Fundo + Quatro Lados
- Pontos de Controle de Temperatura: Fundo + Lado
- Tipo de Termopar: Tipo K
- Taxa de Aquecimento: ≤8°C/min
- Elementos de Aquecimento: Aquecedores de Fibra Cerâmica FEC
- Método de Abertura da Porta do Forno: Design de Abertura Superior
- Estabilidade do Controle de Temperatura: ±1°C
- Instrumento de Controle de Temperatura: Controlador PID Importado com Função de Auto-Ajuste
- Etapas do Programa: 20 etapas
- Alarme e Proteção: Alarmes sonoros/visuais de sobretemperatura, quebra de termopar e outros, com proteção de desligamento por sobretemperatura
- Aumento da Temperatura da Superfície: <35°C
- Peso: cerca de 500kg
- Dimensões do Forno: cerca de 1200×1200×1500mm (L×A×P)
3. Lista de Entrega
| Item |
Observação |
QTD |
| Composições Básicas |
| Forno |
|
1 unidade |
| Certificados de Inspeção |
Forno e principais componentes adquiridos |
1 Conjunto |
| Documentos Técnicos |
Especificações do forno, documentos técnicos dos principais componentes adquiridos, etc. |
1 Conjunto |
| Peças Chave |
| Controlador de Fluxo de Massa (MFC) |
Yamatake ou HORIBA |
4 Conjuntos |
| Tela sensível ao toque |
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1 PC |
| Controlador de Temperatura |
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1 Conjunto |
| Aquecedor FEC |
|
1 Conjunto |
| Revestimento de Quartzo |
|
1 Conjunto |
| Peças de Reposição |
| SSR |
|
1 PC |
4. Requisitos de Instalação
4.1 Condições ambientais: Temperatura 0 - 40°C, umidade ≤ 80% UR, sem gás corrosivo, sem forte perturbação do fluxo de ar.
4.2 Requisitos do solo: nivelado, sem vibração óbvia, capacidade de carga > 500Kg/m².
4.3 Condições de energia: capacidade superior a 22kVA, 3 fases 5 fios, tensão 220/380V, frequência 50Hz (de acordo com a situação local). Fio vivo: amarelo, verde, vermelho, fio neutro: azul, fio terra: amarelo-verde.
4.4 Local de instalação: 1500mm×1500mm×3000mm (L×A×P), área de instalação superior a 2,5m².
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