Forno di deposizione chimica a vapore a CVD Forno di riscaldamento a fusione a 1000°C
Descrizione del prodotto
MBF100-10 Tipo Deposizione chimica del vapore Forno CVD 1000°C Forno di fusione Forno di riscaldamento Carburante elettrico certificato ISO
1Nome e modello dell' apparecchio
Forno di deposizione chimica a vapore MBF100-10
Il forno per la deposizione chimica dei vapori (CVD) di tipo MBF100-10 è adatto per il trattamento termico a media temperatura dei prodotti elettronici.È utilizzato principalmente per i processi di reazione in fase gassosa di materiali correlati in atmosfere di azotoL'acido acetilenico può essere utilizzato anche per i processi di sinterizzazione di materiali correlati in atmosfere protettive.
2Specificativi tecnici e configurazione di base
- Temperatura nominale:750°C
- Temperatura massima:1000°C
- Dimensioni della zona di riscaldamento:770 × 770 × 300 mm (W × D × H)
- Dimensioni effettive:640 × 640 × 250 mm (W × D × H)
- Materiale della camera esterna:SUS310S
- Materiale di rivestimento interno:Quarzo fuso
- Dimensione del prodotto:Φ120
- Capacità delle attrezzature:16 substrati per lotto
- Potenza di riscaldamento massima:16 kW
- Metodo di riscaldamento:Sotto + Quattro lati
- Punti di controllo della temperatura:Sotto + lato
- Tipo di termocoppia:Tipo K
- Tasso di riscaldamento:≤ 8°C/min
- Elementi di riscaldamento:Caldaie in fibra ceramica FEC
- Metodo di apertura della porta del forno:Progettazione con apertura superiore
- Stabilità del controllo della temperatura:± 1°C
- Strumento di controllo della temperatura:Controller PID importato con funzione di sintonizzazione automatica
- Passi del programma:20 passi
- Alarme e protezione:Alarmi di sovra-temperatura, di rottura della termocoppia e altri allarmi acustici/visivi, con protezione contro l'interruzione dell'alimentazione per sovra-temperatura
- Aumento della temperatura superficiale:< 35°C
- Peso:circa 500 kg
- Dimensioni del forno:circa 1200×1200×1500 mm (W×H×D)
3Lista delle consegne.
| Articolo |
Nota |
QTY |
| Composizioni di base |
| Fornace |
|
1 unità |
| Certificati di ispezione |
Forno e principali componenti acquistati |
1 set |
| Documenti tecnici |
Specifiche del forno, documenti tecnici dei principali componenti acquistati, ecc. |
1 set |
| Parti chiave |
| Controller di flusso di massa (MFC) |
Yamatake o HORIBA |
4 Set |
| Dispositivo touch |
|
1 PC |
| Controllatore di temperatura |
|
1 set |
| Scaldaia FEC |
|
1 set |
| Liner di quarzo |
|
1 set |
| Ricambi |
| SSR |
|
1 PC |
4. Requisiti per le strutture
4.1 Condizioni ambientali:Temperatura 0-40°C, umidità ≤ 80% RH, nessun gas corrosivo, nessun forte disturbo del flusso d'aria.
4.2 Requisiti di base:livello, senza vibrazioni evidenti, capacità portante > 500 kg/m2.
4.3 Condizioni di potenza:Capacità superiore a 22kVA, 3 fasi 5 linee, tensione 220/380V, frequenza 50Hz ((secondo la situazione locale).
4.4 Sito di installazione:1500 mm × 1500 mm × 3000 mm (W × H × D), superficie di installazione superiore a 2,5 m2.
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